3月24日,成都中節能領(lǐng)航科技股份有限公司公告稱(chēng),公司2020年將落實(shí)球形硅微粉特制燃燒器的安裝調試工作以及成球工藝的定型化試驗,計劃在2020年上半年完成量產(chǎn)前工藝的驗證驗收工作,形成小批量產(chǎn)銷(xiāo)。
據了解,該熔融型球形硅微粉研發(fā)項目致力于實(shí)現球形硅微粉及其工藝裝備的規?;?、國產(chǎn)化,解決我國球形硅微粉受制于人的局面。
主要工藝為:
將上游客戶(hù)提供的角形超純硅微粉(R600、R610)通過(guò)氣流粉碎機粉碎到合適粒徑后,通過(guò)火焰熔融成珠法將其高溫瞬間熔化快速冷卻球化成形;
通過(guò)控制高溫加熱場(chǎng)溫度分布來(lái)解決超細粉體團聚、球化合并的難題;
通過(guò)精密粒徑控制技術(shù)批量制備各種不同粒徑規格的球形硅微粉;
通過(guò)表面處理技術(shù)制備適合不同封裝要求的表面改性球形硅微粉;
通過(guò)該項目完成一套球形硅微粉工程化成套裝備及關(guān)鍵零部件的研發(fā)和實(shí)際應用。
項目進(jìn)展如下:
開(kāi)始研發(fā)時(shí)間為2015年5月;
2017年內已完成技術(shù)論證、料性分析、分散性測試及熔融火焰場(chǎng)溫控制技術(shù)、燃燒器改造優(yōu)化等工作,已形成實(shí)驗室產(chǎn)品;
2018年度新增工業(yè)化設備進(jìn)行工業(yè)化小批量試制;
2019年4月起已送小樣給客戶(hù)進(jìn)行指標分析,并根據客戶(hù)反饋對產(chǎn)品進(jìn)行多次優(yōu)化試驗分析和改進(jìn)。
2020年將落實(shí)特制燃燒器的安裝調試工作以及成球工藝的定型化試驗,計劃在2020年上半年完成量產(chǎn)前工藝的驗證驗收工作,形成小批量產(chǎn)銷(xiāo)。
球形硅微粉主要用于大規模集成電路的封裝領(lǐng)域,但國外對球形硅微粉的球化技術(shù)、關(guān)鍵裝置采取了技術(shù)封鎖,對工藝裝備核心部位進(jìn)行了封閉式管理。因此,我國高端球形硅微粉主要以進(jìn)口為主,如何制備高純、超細的球形硅微粉已成為國內粉體研究的熱點(diǎn)。
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