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                        一種形成雙應力層氮化硅薄膜的方法

                      
        
					
        
                        來源：中國粉體技術網    更新時間：2013-09-22 09:25:06    瀏覽次數：
                      
        
                      
        

                        
        

  
        

    

    

	專利名稱：一種形成雙應力層氮化硅薄膜的方法
        

	專利持有人：上海華力微電子有限公司
        

    所屬行業：
        
   
    內容摘要：本發明公開了一種形成雙應力層氮化硅薄膜的方法，目的是提供一種形成雙應力層氮化硅薄膜的方法。該方法，優化了工藝，減小成本，同時能夠改善器件性能。        		

  
        


        

        		

                      
        

                      
        

                        

                      
        

					  
        

                            
        

                              
        

                                
        

                                  
        

                                    信息描述

                                  
        

                                
        		

                              
        

							  
        

                            

                          
        

                            
        		

                          
        

                          

                      
        

                        發明人：徐強   
        
申請人：上海華力微電子有限公司 
        
申請號：CN201210158843.5 
        
        本發明公開了一種形成雙應力層氮化硅薄膜的方法，其中，包括下列步驟：提供一種具有NMOS晶體管和PMOS晶體管的半導體襯底；在所述半導體襯底上沉積一層第一氮化硅層；在所述第一氮化硅層的表面沉積一層第二氮化硅層，所述第二氮化硅層為摻雜有雜質元素的氮化硅層，所述第一氮化硅層和所述第二氮化硅層組成高拉應力的氮化硅薄膜；蝕刻所述PMOS晶體管表面，去除所述PMOS管表面的第一氮化硅層和第二氮化硅層；對所述半導體襯底進行快速熱退火工藝；對所述NMOS晶體管進行刻蝕，去除NMOS晶體管表面的第一氮化硅層和第二氮化硅層。本發明的目的是提供一種形成雙應力層氮化硅薄膜的方法。該方法，優化了工藝，減小成本，同時能夠改善器件性能。
        

        

        
http://www.roanjohns.com/uploadfile/2013/0922/20130922092941221.pdf
        
        		

                      
        

					  
        

                        

                      
        

					
        

                        
        		

                      
        

                    
        		
                      
        
					  					  
        
					    
					  
        
					  
        
                         
                      
        
					  					  					  
        
                        
        
                          
        
                            
        
                              
        
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						鈦白粉

					  
        
							 

					  
        

						

					  
        
	
					  						 
        

						氧化鐵顏料

					  
        
							 

					  
        

						

					  
        
	
					  						 
        

						珠光云母

					  
        
							 

					  
        

						

					  
        
	
					  						 
        

						白炭黑

					  
        
							 

					  
        

						

					  
        
	
					  						 
        

						炭黑

					  
        
							 

					  
        

						

					  
        
	
					  						 
        

						氧化鋁

					  
        
							 

					  
        

						

					  
        
	
					  						 
        

						粉煤灰

					  
        
							 

					  
        

						

					  
        
	
					  						 
        

						金屬硅

					  
        
							 

					  
        

						

					  
        
	
					  						 
        

						氧化鋅

					  
        
							 

					  
        

						

					  
        
	
					  						 
        

						碳化硅

					  
        
							 

					  
        

						

					  
        
	
					  							 
        
				氮化硅

					  
        
							 

					  
        

						

					  
        
	
					  						 
        

						硅灰

					  
        
							 

					  
        

						

					  
        
	
					  						 
        

						氫氧化鋁

					  
        
							 

					  
        

						

					  
        
	
					  						 
        

						鐵粉

					  
        
							 

					  
        

						

					  
        
	
					  						 
        

						鋁粉

					  
        
							 

					  
        

						

					  
        
	
					  						 
        

						銅粉

					  
        
							 

					  
        

						

					  
        
	
					  						 
        

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