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| 掃描電子顯微鏡的優(yōu)點(diǎn)和試樣制備 |
| 來(lái)源：中國粉體技術(shù)網(wǎng) 更新時(shí)間：2013-09-12 08:24:30 瀏覽次數： |
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（中國粉體技術(shù)網(wǎng)/三水）一、掃描電鏡的優(yōu)點(diǎn)
1、制樣方法簡(jiǎn)單。
對于金屬等導電試樣，在電鏡樣品許可的情況下可以直接進(jìn)行觀(guān)察分析；對于高分子材料等不導電的試樣需要表面噴射或濺射一層金屬薄膜即可觀(guān)察其表面形貌。
2、景深長(cháng)、視野大。
其景深三百倍于光學(xué)顯微鏡，且比透射電鏡高一個(gè)數量級，可直接觀(guān)察各種如拉伸、擠壓、彎曲等粗糙表面、斷口形貌以及松散的粉體試樣，圖像富有立體感真實(shí)感、易于識別和解釋。
3、有效放大倍數高。
一般為10-200000倍，一旦聚焦后，可以任意改變放大倍率，無(wú)需重新聚焦。
4、分辨本領(lǐng)大。其分辨率可達1nm以下。
5、電子損傷小。
掃描電鏡的電子束直徑一般為三至幾十納米，強度約為10-11-10-9mA，電子束的能量較透射電鏡的小，加速電壓可以小到0.5kV，并且電子束作用在試樣上是動(dòng)態(tài)掃描，并不固定，因此對試樣的電子損傷小，污染輕。
6、實(shí)現綜合分析。
掃描電鏡可以同時(shí)組裝其他觀(guān)察儀器，如配有波譜儀、能譜儀等，可實(shí)現觀(guān)察形貌的同時(shí)進(jìn)行微區成分分析；配有光學(xué)顯微鏡和單色儀等附件時(shí)，可觀(guān)察陰極熒光圖像和進(jìn)行陰極熒光光譜分析等。
7、圖像質(zhì)量好。
可以通過(guò)電子學(xué)方法有效地控制和改善圖像的質(zhì)量，如通過(guò)調制可改善圖像反差的寬容度，使圖像各部分亮暗適中。采取雙放大倍數裝置或圖像選擇器，可在熒光屏上同時(shí)觀(guān)察不同放大倍數的圖像或不同形式的圖像。
二、掃描電鏡的樣品制備
1、導電試樣：
樣品粉體可以直接撒在試樣座的雙面碳導電膠上，用表面平的物體，例如玻璃板壓緊，然后用洗耳球吹去粘結不牢固的顆粒。對細顆粒的粉體分析時(shí)，特別是對團聚體粉體形貌觀(guān)察時(shí)，需將粉體用酒精或水在超聲波作用下分散，再用滴管把均勻混合的粉體滴在試樣座上，待液體烘干或自然干燥后，粉體靠表面吸附力即可粘附在試樣座上。
2、不導電試樣：
對不導電的試樣，例如陶瓷、巖石、玻璃、有機物等，在圖像觀(guān)察時(shí)，會(huì )產(chǎn)生放電、電子束漂移、表面熱損傷等現象，使圖像無(wú)法聚焦。為了使試樣表面導電，必須在試樣表面蒸鍍一層金或者碳等導電膜，鍍膜后應立即分析，避免表面污染和導電膜脫落。一般形貌觀(guān)察時(shí)，蒸鍍小于10nm厚的金導電膜。金導電膜具有導電性好、二次電子發(fā)射率高、在空氣中不氧化、熔點(diǎn)低、膜厚易控制等優(yōu)點(diǎn)，可以拍攝到質(zhì)量好的照片。 |
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