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        性能測試
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        掃描電子顯微鏡的儀器組成
        來(lái)源:中國粉體技術(shù)網(wǎng)    更新時(shí)間:2013-09-11 09:02:56    瀏覽次數:
         
        (中國粉體技術(shù)網(wǎng)/三水)掃描電子顯微鏡分為冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡、熱場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡、環(huán)境掃描電子顯微鏡等不同類(lèi)型。圖1為JSM-6700F型場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的全景圖。
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        圖1  JSM-6700F場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡
        掃描電子顯微鏡由電子光學(xué)系統、信號收集及顯示系統、真空系統和電源系統組成(如圖2)。
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        圖2  掃描電子顯微鏡結構示意圖
                1、電子光學(xué)系統
                由電子槍、電磁透鏡、掃描線(xiàn)圈和樣品室等部件組成(圖3)。電子光學(xué)系統的作用是獲得掃描電子束,作為信號的激發(fā)源。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率,掃描電子束應具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。
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        圖3  掃描電子顯微鏡電子光學(xué)系統組成示意圖
                2、信號收集及顯示系統
                作用是檢測樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號,然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統的調制信號。普遍使用的是電子檢測器,它由閃爍體、光導管和光電倍增器組成(如圖4)。
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        圖4  掃描電子顯微鏡信號收集及顯示系統示意圖
                3、真空系統和電源系統
                真空系統的作用是為保證電子光學(xué)系統正常工作,防止樣品污染,提供高的真空度,一般情況下要求保持10-4~10-5Torr的真空度。電源系統由穩壓、穩流及相應的安全保護電路所組成,其作用是提供掃描電鏡各部分所需的電源。
         
         
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