“十三五”開年之際,科技部的國家重點研發計劃的多個重點專項如期而至。在納米專項當中,石墨烯等納米碳材料,碳基納米電子器件,納米能量存儲材料,新型二維原子晶體材料等成為2016年優先支持方向。2月初,科技部官網發布《科技部關于發布國家重點研發計劃納米科技等重點專項2016年度項目申報指南的通知》。根據“自上而下”和“自下而上”相結合的原則,科技部會同相關部門,遵循國家重點研發計劃新的項目形成機制,面向2016年凝練形成了若干重點專項并研究編制了各重點專項實施方案,已經國家科技計劃(專項、基金等)管理戰略咨詢與綜合評審特邀委員會(以下簡稱“特邀咨評委”)和部際聯席會議審議通過,并按程序報國務院批復同意。

1. 新型納米制備與加工技術
1.1新型碳納米材料的制備與光電功能研究
研究內容:手性碳納米管、石墨烯納米帶、高質量石墨烯(碳單層或少層)和石墨炔等納米碳材料的宏量可控制備與可控摻雜,碳基納米結構中的物理新效應與光電功能的高效調控。
考核指標:實現面積大于2平方厘米和密度大于100根/微米的單壁碳納米管平行陣列的可控制備方法;實現高品質單層石墨烯的連續可控制備方法;建立面積大于平方分米高取向石墨炔薄膜(厚度小于10納米)的制備技術;建立碳納米材料在光電子和光電轉換器件中的應用關鍵技術,實現在顯示驅動和柔性電子器件中的應用示范。
2. 納米表征與標準
2.3納米技術標準與標準樣品
研究內容:面向重要納米產業應用,開展納米性能檢測標準研究,納米標準物質與標準樣品研制,包括納米技術術語和定義、測量和表征、健康安全和環境、材料規格等。
考核指標:制定納米結構基本性質的系列納米技術標準,建立納米制造技術和重大應用中納米性能檢測的系列標準化方法及評價規范,完成系列國家一級、二級納米標準物質/標準樣品,主持制定納米技術國家標準20—40項,主導制定國際納米技術標準(ISO,IEC)10—20項。
3.納米信息材料與器件
3.2 碳基納米電子器件與集成
研究內容:高性能碳基納米晶體管的制備及大規模集成,碳基和半導體集成電路的混合集成。亞10納米碳基CMOS器件制備技術;芯片用碳管材料的可控和批量制備;新型器件在柔性襯底上的基本科學與技術問題。
考核指標:實現集成電路用高純半導體碳納米管材料的批量制備,建立碳基納米電路與硅基CMOS集成電路的混合集成工藝;碳納米管平行陣列中半導體純度大于99%,碳基納米CMOS場效應晶體管柵長小于10納米,本征門延時小于0.1 ps,碳基納米集成電路規模大于1000門級,實現4位碳基CPU的功能演示;實現柔性碳納米器件在可穿戴裝備上的應用。
4新型二維原子晶體材料和器件原理
研究內容:超薄溝道、高載流子遷移率、帶隙可調控的高性能二維原子晶體材料的精準構筑和制備,研究帶隙、摻雜等關鍵物性調控以及自旋、能谷等信息單元操控中的科學問題,構建新穎器件原型。
考核指標:發現和合成新的高性能二維原子晶體材料并完成結構和性能表征;制備出宏觀尺度、結構完整和性能優異的二維原子晶體薄膜;演示針對下一代高速、低功耗信息處理和高靈敏探測要求的二維原子晶體邏輯器件、高頻射頻器件、光電子發射和探測器件等,建立相關器件原理和物理模型,發展功能協同與集成技術,占領二維原子晶體材料和器件研究的國際制高點。
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