日前,在主題為“支撐納米制造的計量技術(shù)和傳遞標準”的第281期上海東方科技論壇上,李同保、金國藩、蔣莊德、莊松林、劉明等院士與專(zhuān)家建議,我國須加強探索并發(fā)展基于新原理、新方法和新技術(shù)的納米計量?jì)x器和納米傳遞標準,獨立自主地構建我國納米計量體系,對我國數十萬(wàn)臺納米測量?jì)x器進(jìn)行校準和溯源,提升我國納米制造的技術(shù)能力,為我國成為制造業(yè)強國提供計量支撐。
自改革開(kāi)放以來(lái),中國的制造業(yè)規模和制造技術(shù)水平都有了顯著(zhù)的發(fā)展和提高。著(zhù)眼未來(lái),中國要從經(jīng)濟大國邁向經(jīng)濟強國,首先要成為制造業(yè)強國。世界各國都在加強對制造技術(shù)的研究,力求在世界科技經(jīng)濟格局中處于領(lǐng)先地位,如德國的工業(yè)4.0,美國的“制造業(yè)復興”和我國的“中國制造2025”等。
本次論壇執行主席、同濟大學(xué)教授李同保表示,制造領(lǐng)域幾乎所有的創(chuàng )新和技術(shù)進(jìn)步都離不開(kāi)納米科技,納米科技已成為國防戰略和新興產(chǎn)業(yè)的制高點(diǎn),對國家安全和國民經(jīng)濟建設具有重大作用。
中科院院士、中科院微電子研究所研究員劉明等認為,隨著(zhù)器件的特征尺寸進(jìn)入納米量級(1 納米~100 納米),加工制造過(guò)程中的不確定性顯著(zhù)增加,加工誤差對器件性能的影響也越來(lái)越大。納米計量不僅是測量和表征納米尺度器件的基礎,同時(shí)在納米加工工藝控制和質(zhì)量管理領(lǐng)域也扮演重要角色,它是微電子、微機械、超精密加工、納米醫學(xué)、納米生物學(xué)等領(lǐng)域中不可回避的關(guān)鍵科學(xué)與技術(shù)問(wèn)題。
國際上對納米計量技術(shù)的研究主要集中在計量型納米精度檢測技術(shù)和納米尺度傳遞標準兩方面。納米計量像一把“尺子”,可以為具有納米精度的儀器裝置和實(shí)物標準進(jìn)行校準,測量結果可溯源于國際單位制,準確性和可靠性大幅度提高。
中國已成為世界納米科技大國,構建了龐大的納米制造研發(fā)和生產(chǎn)體系,擁有SEM、AFM等納米測量?jì)x器數十萬(wàn)臺。但是納米計量技術(shù)、測試儀器和傳遞標準卻相對較少,這嚴重制約了我國納米制造技術(shù)和相關(guān)行業(yè)的進(jìn)一步發(fā)展。對此,西安交通大學(xué)教授蔣莊德表示:“作為‘中國制造2025’的基礎與核心技術(shù),計量測試與傳感技術(shù)的發(fā)展面臨新的挑戰和機遇。”
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