等靜壓石墨是上世紀40年代發展起來的一種新型石墨材料，具有一系列優異的性能。等靜壓石墨的耐熱性好，在惰性氣氛下，隨著溫度的升高，其機械強度反而升高，在2500℃左右時達到最高值；與普通石墨相比，結構精細致密，而且均勻性好；熱膨脹系數很低，具有優異的抗熱震性能；各向同性、耐化學腐蝕性強、導熱性能和導電性能良好；具有優異的機械加工性能。正是由于具有這一系列的優異性能，等靜壓石墨在化工、半導體、電氣、冶金、機械、核能及宇航等領域得到廣泛應用，而且，隨著科學技術的發展，應用領域還在不斷擴大。
1.等靜壓石墨的主要用途
1.1太陽能電池及半導體晶片用石墨
在太陽能、半導體行業中，大量使用等靜壓石墨，制作單晶直拉爐熱場石墨部件，多晶硅熔鑄爐用加熱器，化合物半導體制造用加熱器、坩堝等部件。近年來，太陽能光伏發電發展迅猛，光伏產業中的單晶硅和多晶硅生產對石墨需求量巨大。目前，單晶、多晶硅產品均朝大型化、高端化發展，對等靜壓石墨也有了更高的要求，即：更大規格、更高強度、更高純度。
1.2核石墨
等靜壓石墨具有中等的力學性能，特別出色的高溫力學性能，導熱系數大，線膨脹系數低。在高溫氣冷堆中，主要用作反射劑、慢化劑及活性區結構材料，同核燃料一道構成核燃料組件。在400~1200℃的溫度下，受高能γ射線和快中子的放射線，時間長達數年之久，容易造成輻照損傷，從而改變石墨的結構和性質，所以要求材料的石墨化度高、各向同性度好、組成均一、彈性模量低。目前，我國只能生產少量的高溫氣冷反應堆用核石墨，主要還是依賴進口。
1.3電極石墨
石墨無熔點，是電的良導體，抗熱震性好，是極佳的電火花加工電極材料普通石墨材料，為粗顆粒結構低密度各向異性石墨，不能滿足電火花加工的需求，而等靜壓石墨電極結構均勻、致密、加工精度高，可以滿足這方面的要求。
1.4 連續鑄造結晶器石墨及模具石墨
主要用于連續鑄造結晶器與超硬材料生產用能耐高溫、高壓的模具材料。 等靜壓石墨由于它的微粒子結構、較高的機械強度、均勻的熱傳導，使連鑄與模壓的產品表面光滑，內在質量高，使用壽命長，是結晶器的最佳材料。而且對于大型燒結材料，模具壁的厚度應盡可能薄，必須使用強度很高的細結構各向同性石墨。
1.5其它用途
在炭刷、機械密封、觸輪的集電板等處使用，要求加工精度的同時，高潤滑性和高導電性是極其重要的。普通石墨材料，需要用樹脂、金屬進行浸漬處理，以提高強度和氣密性，但在耐腐蝕和耐高溫性能上限制其使用范圍。
等靜壓石墨摩擦系數低、導熱性能好，常用作軸承、機械密封用密封環、活塞環等滑動摩擦材料。此外，等靜壓石墨還用于制作金剛石工具，光纖拉絲機的熱場部件(加熱器、保溫筒等)，真空熱處理爐的熱場部件(加熱器、承載框等)，以及精密石墨熱交換器。
2 等靜壓石墨的發展狀況
由于高密度各向同性碳材料的性能優良、用途廣泛、附加值高，各發達國家都投入較多的人力物力開發該材料。據日本相關資料，由于等靜壓石墨材料的開發，炭石墨材料的年產值每五年就翻一番。目前，我國高端等靜壓石墨產品主要依賴進口，有統計表明，其中約80%來自于日本，其余來自于歐美。
美國是世界上最早研制和生產等靜壓石墨的國家，上世紀50年代末就有產品面市。目前，在美國生產經營等靜壓石墨的著名企業有：POCO公司、尤卡碳素公司、大湖碳素公司、圣瑪麗工廠等。其中圣瑪麗工廠在上世紀90年代末，就能生產規格為Ф1250mm×2000mm的大型等靜壓石墨材料。
日本原子能研究所于1971年設立石墨材料研究室，設計研究多用途高溫氣冷堆用等靜壓石墨材料，很快便取得了突破性進展。
1978年，吳羽化學工業公司同東北協和炭素公司，聯合開發出了不使用粘結劑的，自燒結等靜壓石墨的工業生產技術。1999年，東洋碳素公司已批量生產Ф1500mm×2000mm的大規格等靜壓石墨，并具備生產Ф＞2000mm的等靜壓石墨的能力。目前，日本的等靜壓石墨無論是在產量、質量、品種還是規格上都達到了世界先進水平，是我國高端等靜壓石墨產品的主要進口國。
我國在等靜壓石墨的開發方面，處于起步階段，與發達國家相比存在較大差距。中國科學院山西煤炭化學研究所、北京化工大學、湖南大學、天津大學、東新電炭公司等單位和企業，正在從事自燒結高性能碳材料相關方面的探索和研究。而連鑄結晶器石墨的研究與生產，開始于上世紀七十年代初；目前，國內從事該項目研究和生產的企業有蘭州炭素廠、上海炭素廠、東新炭素廠、哈爾濱炭素廠、哈爾濱電炭研究所、吉林炭素廠等，但制造工藝和產品性能與國外相比有較大差距。
3.等靜壓石墨的生產工藝
如圖1所示，為等靜壓石墨的傳統生產工藝流程。
 制備等靜壓石墨，一般需要使用結構上各向同性的碳質原料，并將其磨制成特定粒度的粉料。為避免粉料在壓制過程中出現定向排列的現象，需要應用冷等靜壓成型技術。為保證焙燒過程中，坯體內外溫度平衡，升溫必須十分緩慢。為了達到預期密度，一般需要進行多次的浸漬—焙燒循環。最后，樣品的石墨化周期也要比普通石墨材料長得多。
除上述傳統制備方法外，另外一種方法為自燒結法。自燒結法是以具有自燒結性的粉末為原料，不使用粘結劑，制造等靜壓石墨的方法。日本吳宇化學工業公司的生產方法是，對瀝青分兩階段進行特殊處理，得到特殊結構的原料，然后在不用粘結劑的情況下，直接壓制、焙燒和石墨化，制得高性能等靜壓石墨。由于相關的公開文獻很少，本文不介紹這種方法。
3.1 原料
生產等靜壓石墨的原料，主要包括骨料、粘結劑及少量添加劑。石油焦和瀝青焦是最常見的等靜壓石墨骨料，另外，天然石墨、無煙煤、炭黑等也常被用作骨料。
一般情況下，為了減小樣品在焙燒和石墨化過程中的收縮率，石油焦和瀝青焦需要在1200~1400℃下進行煅燒，去除水分及揮發分后才能使用。但是為了提高制品的機械性能和結構致密性，也有直接用生焦做原料生產等靜壓石墨的，例如日本東海炭素株式會社在其公開專利《各向同性石墨制造法》中，就是使用含氧量在4%以下的生焦炭作為骨料。生焦的特點是含有揮發分，具有自燒結性，與粘結劑焦同步膨脹和收縮。煤瀝青是最常用的粘結劑，酚醛樹脂等脂類物料也常被用作粘結劑。
例如清華大學在其公開專利《一種各向同性石墨制品及其制備方法》中，就將瀝青、酚醛樹脂、糠醛樹脂和環氧樹脂的脂類物料，均列為其粘結劑備用材料。
等靜壓石墨中的添加劑主要是硼及其化合物，用來促進碳材料的燒結，但也引入了硼元素雜質，可在純化過程中去處。
等靜壓石墨的性能受原料的影響極大，對原料的精選是能否生產出所需要的最終產品的關鍵環節。投料前必須對原料特性和均勻性進行嚴格檢測。
3.2 粉磨
粉磨，包括一次粉磨和二次粉磨。一次粉磨是指對原料中骨料的破碎，一般認為，骨料粒度越小，制得的最終產品的致密度、強度及各向同性度越好。等靜壓石墨的骨料粒度通常要求達到20μm以下，目前，最精細的等靜壓石墨，顆粒直徑為1μm，如美國的電火花用EDM-AF5型等靜壓石墨的粒徑，就達到了1μm。
要把骨料焦炭磨制成這么細的粉末，需要用到超微粉碎機。磨制平均粒度為10~20μm
的粉末需要使用立式輥磨機，而磨制平均粒度小于10μm的粉末就需要使用氣流磨粉機。二次粉磨，是指對混捏后的冷卻糊料的破碎，粒度可在幾十微米到幾百微米之間，利用立式輥磨機或球磨機就可完成。糊料經破碎、篩分，成為壓粉。
3.3 混捏
將磨制好的骨料粉末和粘結劑、添加劑等，按比例投入到加熱式混捏機中，進行充分混捏，使骨料顆粒表面均勻附著一層瀝青?；炷蠊に嚤容^簡單，需要控制好混捏的溫度和時間，混捏溫度根據所用粘結劑確定，一般不超過150℃；混捏時間根據骨料與粘結劑的比例確定，一般不低于1h?；炷笸瓿珊?，取出糊料，待其冷卻后進行二次粉磨。
3.4 等靜壓成型
等靜壓成型，是保證等靜壓石墨材料各向同性的關鍵工藝。等靜壓成型的基本原理是帕斯卡定律，即在充滿液體的封閉容器中，施加于流體中任一點的壓力，必以相同的數值傳遞到容器中的任一部位。在等靜壓成型過程中，壓力通過水等液體介質傳遞到橡膠模具上，各個方向上的壓力是相等的。這樣，粉料在模具中就不是按填充方向取向，而是按不規則排列方式被壓縮。
因此，盡管石墨在晶體學特性上是各向異性的，但是從整體上看，等靜壓石墨卻是各向同性的。 等靜壓石墨的成型大致分為三個步驟：裝料、升壓及降壓。將原料壓粉填充到橡膠模具中，通過高頻電磁振動，使得壓粉得到密實。裝完料后用手工對模具適當整形，然后將其密封。此時，模具內的粉料中還含有大量空氣，會影響制品的成型性能及致密度，所以還需要對密封后的模具進行抽真空，以排除粉料顆粒間的空氣。
生產某些球形產品時，則應先將粉料用模壓法預壓成球體，再置入相應尺寸的等靜壓成型的模具內，例如成都碳素有限責任公司在其公開專利《一種核石墨材料組合及預處理方法》中，就采用了先模壓成型，再等靜壓成型的工藝流程。
裝料完成后即將模具轉入高壓容器內進行壓制。加壓過程需要分階段逐步進行。例如，先將壓力升5MPa，保持一段時間，使模具內殘余氣體部分排出。此時，因粉料受壓而體積收縮，因此高壓容器內壓力略有下降。接著再次升壓至20MPa左右，排出部分氣體后粉料體積再次收縮，然后再升高壓力到所需的工作壓力，一般為100~200MPa，并在選定的高壓下保持一定時間（20~60min）后再降壓。降壓過程也需緩慢進行，因為粉料中必定還殘留有少量空氣，并隨著粉料的壓縮，體積急劇減小。如果壓力突然減小，這些壓縮的氣體就會迅速膨脹，從而導致坯體開裂。
目前，用于等靜壓石墨生產的冷等靜壓機最大規格為φ2150mm×4700mm，最高工作壓力180MPa。
3.5 焙燒
焙燒是除去坯體中揮發份，并使粘結劑焦化的過程，最高溫度一般不超過1250℃。在焙燒過程中，骨料和粘結劑之間發生復雜的化學反應，粘結劑在分解，釋放大量揮發分的同時，進行縮聚反應。在低溫預熱階段，生坯因受熱而膨脹，在隨后的升溫過程中，又因縮聚反應而體積收縮。生坯的體積越大，揮發分的釋放就越困難，同時，生坯表面和內部也越容易產生溫差、收縮不均勻等現象，這些都有可能導致坯體出現裂紋。等靜壓石墨由于結構細密，焙燒過程要求要特別緩慢，而且爐內溫度要非常均勻，尤其是在瀝青揮發分急劇排出的溫度階段，加熱過程要謹慎進行，升溫速度不能超過1℃/h，爐內溫差要求小于20℃，此工藝一般需要1個月以上的時間。
如天津錦美碳材料科技發展有限公司在其公開專利《一種各向同性石墨的制備方法》中所述，一次焙燒的最高溫度為1200℃左右，平均升溫速率為3℃/h。其中350~400℃，升溫速度：≤1℃/h；400~500℃，升溫速度：≤0.7℃/h；500~600℃，升溫速度：≤1℃/h。
3.6 浸漬
焙燒過程中，粘結劑揮發分被排出，并在制品中留下細微的氣孔，且幾乎都是開口氣孔。這些氣孔的存在，會損害制品的體積密度、機械強度、導電率、導熱率及抗化學反應性等。生產中，主要是通過瀝青浸漬法來降低氣孔率，即通過開口氣孔把煤瀝青浸漬到制品內部，然后通過二次焙燒，使瀝青焦化，填充孔隙。
浸漬的一般工序：先在具有良好密閉性的浸漬罐中對制品進行預熱，預熱溫度視所選浸漬瀝青的型號而定，通常在100℃左右；然后將浸漬罐抽真空，真空度控制在-0.06MPa左右，使制品脫氣；接著把熔化好的煤瀝青注入浸漬罐中，直至瀝青浸沒制品，同時給浸漬罐升溫，一般不超過300℃；最后給罐內加壓，促進瀝青進入制品內部，壓力一般不超過3MPa。
通常，等靜壓石墨要經過多次的浸漬—焙燒循環，但不超過3次，超過3次，浸漬工序對制品性能的提高作用就很有限了。清華大學在其公開專利《一種各向同性石墨制品及其制備方法》中，就采用了3次浸漬—焙燒循環工藝。浸漬后的樣品，在二次焙燒中，容易出現瀝青受熱滲出的現象，影響浸漬的效果。有研究表明，利用熱等靜壓技術對制品進行二次焙燒，在加熱的同時，施以5MPa左右的壓力，可以有效避免瀝青滲出現象。這種方法的缺點是，設備昂貴，生產率極低。
3.7 石墨化
把焙燒后的制品加熱到約3000℃，碳原子晶格有序排列，完成由炭向石墨的轉變的過程，叫石墨化。石墨化的方法有艾奇遜法、內熱串接法、高頻感應法等。通常的艾奇遜法，制品從裝爐到出爐，大約需1~1.5個月的時間。每爐可以處理幾噸到幾十噸的焙燒品。內熱串接法熱利用率高，約為艾奇遜法的1.5倍，已開始逐步取代艾奇遜法。石墨化后，制品的體積密度、導電率、導熱率及抗腐蝕性能得到很大程度的提高，機械加工性能也得到改善。但是，石墨化會降低制品的抗折強度。
3.8 檢驗
石墨化后，還需要對制品的密度、硬度、強度、電阻率、灰分等指標進行檢查，以判斷是否達到指標要求。表1為日本東洋碳素公司等靜壓石墨的各項性能指標。 表1日本東洋碳素公司等靜壓石墨的各項性能指標
3.9 純化
等靜壓石墨在用于半導體、單晶硅、原子能等領域時，對純度的要求很高，必須用化學方法將雜質除去后，才能用于這些領域。除去石墨中雜質的通常做法是，把石墨化制品放入鹵素氣體中加熱到約2000℃，雜質就被鹵化成低沸點的鹵化物而揮發除掉。幾乎所有的石墨化制品中的雜質元素均能用氯氣鹵化除掉。但是硼元素例外，它只能氟化除掉。用于提純的鹵素氣體有氯氣、氟氣，或者是能在高溫條件下分解產生這些氣體的鹵代烴，例如，四氯化碳( CCl4)，二氯二氟甲烷( CCl2F2)。
例如美國的格拉弗技術國際控股有限公司在其公開專利《低CTE高各向同性石墨》中，就采用的高溫鹵素氣體除雜的方法：將石墨化得到的樣品在2200~2600℃之間經鹵素氣體純化，除去硼等雜質，得到高純度高各向同性石墨。
4.結語
在當今的工業生產中，石墨已經成為一種必不可少的關鍵材料，特別是在太陽能工業、半導體工業和核工業等方面，石墨的需求量在急劇增加，質量要求也越來越高。
目前，中國只能生產低品質的等靜壓石墨，高品質等靜壓石墨完全依賴進口。開發我國具有自主知識產權的高品質等靜壓石墨產品， 已經迫在眉睫，正待于我們迎頭趕上。
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