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等離子體制備納米晶相氮化硅粉體的研究 |
來源:沈陽農業大學學報 更新時間:2013-06-06 09:17:06 瀏覽次數: |
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華南農業大學聯合華南師范大學,通過感應耦合等離子體技術產生塵埃等離子體,采用四氫化硅(SiH4)和氮氣(N2)為反應氣體,氣相沉積制備出氮化硅(Si3N4)納米粉體材料。塵埃等離子體技術制備的納米Si3N4粉體材料為球形,均勻分布在20nm,并且具有β- Si3N4晶相。該方法實現了在非高溫的條件下,通過添加β- Si3N4籽晶來增韌氮化硅陶瓷的目的,大大提高了氮化硅材料的彈性模量和燒結后的強度和韌度。
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