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等離子體制備納米晶相氮化硅粉體的研究

來(lái)源：沈陽(yáng)農業(yè)大學(xué)學(xué)報更新時(shí)間：2013-06-06 09:17:06 瀏覽次數：

華南農業(yè)大學(xué)聯(lián)合華南師范大學(xué)，通過(guò)感應耦合等離子體技術(shù)產(chǎn)生塵埃等離子體，采用四氫化硅（SiH₄）和氮氣（N₂）為反應氣體，氣相沉積制備出氮化硅（Si₃N₄）納米粉體材料。塵埃等離子體技術(shù)制備的納米Si₃N₄粉體材料為球形，均勻分布在20nm，并且具有β- Si₃N₄晶相。該方法實(shí)現了在非高溫的條件下，通過(guò)添加β- Si₃N₄籽晶來(lái)增韌氮化硅陶瓷的目的，大大提高了氮化硅材料的彈性模量和燒結后的強度和韌度。

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